氦质谱泄漏检测中值得注意的几个问题 - 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会.pdf

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2026-1-10 14:03 | 查看全部阅读模式

会议论文《氦质谱泄漏检测中值得注意的几个问题》探讨了氦质谱检漏技术在实际应用中的关键技术和常见问题。文章分析了影响检测精度的因素，如背景气体干扰、系统真空度及操作规范等，并提出了相应的解决措施。该文为提升氦质谱检漏的准确性和可靠性提供了重要参考，适用于真空技术及相关领域的工程技术人员和研究人员。

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