GBT 25915.14-2022 洁净室及相关受控环境 第14部分：按粒子浓度评估设备适用性

洁净室及相关受控环境第14部分：按粒子浓度评估设备适用性
Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part14:Assessmentofsuitabilityforuseofequipmentbyairborneparticleconcentration

摘要:本文件适用于评估在洁净室及相关受控环境中使用的机械、测试设备、工艺设备、部件及工具等设备的适用性。根据GB/T25915.1，关注悬浮粒子粒径范围为0.1μm至大于或等于5μm。本文件不适用于：根据微生物污染评估适用性；对清洁剂及清洁技术的适用性进行测试；设备和材料的可清洁性；设备设计及材料选择的要求；材料的静电、热学等物理性能；具体工艺场合设备性能的优化；测试统计方法的选用；当地安全法规的条款和要求。

标准编号：GB/T25915.14-2022
标准类型：GB
发布单位：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
发布日期：2022年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2023年1月1日
关键词：

GB/T 25915.14-2022 洁净室及相关受控环境 第14部分：按粒子浓度评估设备适用性.pdf

2024-9-23 17:31 上传 GBT 25915.14-2022 洁净室及相关受控环境 第14部分：按粒子浓度评估设备适用性.pdf

文件大小:

568.45 KB

下载次数:

60

高速下载