会议论文《喷雾热解法制备掺铟氧化锌(LZO)薄膜》介绍了采用喷雾热解法在玻璃基底上制备LZO薄膜的工艺。通过控制溶液浓度、喷涂温度和退火条件，获得了具有良好光电性能的透明导电薄膜。研究结果表明，掺铟氧化锌薄膜具有较高的透光率和较低的电阻率，适用于透明电子器件领域。
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