会议论文《化学刻蚀硅中电荷转移和纳米结构的形成》探讨了在化学刻蚀过程中硅材料内部的电荷转移机制及其对纳米结构形成的影响。该研究为理解半导体材料的微纳加工提供了理论依据，对推动半导体器件技术的发展具有重要意义。
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