几种热阴极电离真空计电参数校准及分析 - 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会.pdf

11 0

2026-1-10 11:49 | 查看全部阅读模式

会议论文《几种热阴极电离真空计电参数校准及分析》探讨了多种热阴极电离真空计的电参数校准方法与分析技术。文章针对不同型号的真空计进行了实验研究，分析了其在不同压力范围内的性能表现，提出了优化校准方案，以提高测量精度和可靠性。该论文为真空计量领域提供了重要的理论支持和技术参考。

文档为pdf格式，0.79MB，总共6页。