会议论文《光刻胶用成膜树脂研究进展》介绍了光刻胶中成膜树脂的最新研究成果。文章综述了成膜树脂在光刻工艺中的关键作用，分析了其结构与性能的关系，并探讨了不同类型的成膜树脂在光刻胶中的应用现状及发展趋势。
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