会议论文《不同射频功率下基于多功率源梯度过渡层的掺硅非晶碳膜的制备及水润滑性能》介绍了通过多功率源技术制备掺硅非晶碳膜的方法,并研究了不同射频功率对膜层结构及水润滑性能的影响。该研究为改善材料表面摩擦学性能提供了新思路,具有重要的理论和应用价值。
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