会议论文《SiCxOy阻挡层对SnO2∶F薄膜结构和性能的影响》探讨了在SnO2∶F薄膜中引入SiCxOy阻挡层对其结构和光电性能的影响。研究通过实验分析表明,SiCxOy阻挡层能够有效改善薄膜的致密性和稳定性,同时优化其导电性能。该成果对提高透明导电薄膜的应用性能具有重要意义。
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