会议论文《PECVD高阻隔膜镀膜设备的研制》发表于2014年广东省真空学会学术年会，主要介绍了采用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术开发高阻隔膜镀膜设备的研究成果。该设备在薄膜均匀性、致密性和生产效率方面具有显著优势，适用于柔性电子、光伏和包装等领域。研究为高阻隔材料的工业化生产提供了技术支持，推动了相关行业的技术进步。
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