电子工业用气体氨中磷化氢、硫化氢的测定--气相色谱法 - 全国特种气体第十八次年会.pdf

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2026-1-10 07:28 | 查看全部 阅读模式

会议论文《电子工业用气体氨中磷化氢、硫化氢的测定--气相色谱法》介绍了采用气相色谱法对电子工业用气体氨中的磷化氢和硫化氢进行定量分析的方法。该方法具有灵敏度高、选择性好、操作简便等优点,适用于高纯气体中微量杂质的检测,对于保障电子工业生产过程中的气体纯度具有重要意义。

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电子工业用气体氨中磷化氢、硫化氢的测定--气相色谱法 - 全国特种气体第十八次年会
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