基于MEMS技术的地面大气电场传感器系统 - 第十三届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf

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2026-1-10 03:53 | 查看全部 阅读模式

会议论文《基于MEMS技术的地面大气电场传感器系统》介绍了利用微机电系统(MEMS)技术设计的一种新型地面大气电场传感器。该系统具有体积小、功耗低、灵敏度高等特点,适用于环境监测和气象研究。通过实验验证,该传感器能够有效检测大气电场变化,为研究大气电学特性提供了可靠的技术支持。

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基于MEMS技术的地面大气电场传感器系统 - 第十三届全国敏感元件与传感器学术会议
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