会议论文《TFT薄膜厚度与光刻图形长寸法的测量》发表于2014中国平板显示学术会议，主要探讨了TFT（薄膜晶体管）制造过程中薄膜厚度和光刻图形尺寸的精确测量方法。文章针对平板显示技术中的关键工艺参数，提出了一套有效的测量方案，以提高产品的一致性和可靠性。该研究对提升TFT-LCD面板的性能具有重要意义，为后续工艺优化提供了理论依据和技术支持。
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