PECVD法改善非晶硅薄膜结晶效果的研究 - 2014中国平板显示学术会议.pdf

6 0
2026-1-10 01:34 | 查看全部 阅读模式

会议论文《PECVD法改善非晶硅薄膜结晶效果的研究》发表于2014中国平板显示学术会议,探讨了等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术在非晶硅薄膜制备中的应用。研究通过优化工艺参数,如气体配比、温度和压力,有效提升了非晶硅的结晶质量,为平板显示器件的性能改进提供了理论依据和技术支持。

文档为pdf格式,0.6MB,总共3页。

PECVD法改善非晶硅薄膜结晶效果的研究 - 2014中国平板显示学术会议
文件大小:
614.4 KB
高速下载
2026 资料下载 联系邮件:1991591830#qq.com 浙ICP备2024084428号-1