会议论文《PECVD法改善非晶硅薄膜结晶效果的研究》发表于2014中国平板显示学术会议,探讨了等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术在非晶硅薄膜制备中的应用。研究通过优化工艺参数,如气体配比、温度和压力,有效提升了非晶硅的结晶质量,为平板显示器件的性能改进提供了理论依据和技术支持。
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