Lift-off工艺制备压电薄膜加速度传感器电极的研究 - 四川省电子学会曙光分会第十七届学术年会暨中物院第十届电子技术青年学术交流会.pdf

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2026-1-10 01:29 | 查看全部阅读模式

本文介绍了采用Lift-off工艺制备压电薄膜加速度传感器电极的研究。通过该工艺，实现了高精度电极图形的制作，提高了传感器的性能和可靠性。研究针对压电薄膜材料特性及工艺参数进行了详细分析，优化了电极结构设计，为高性能加速度传感器的开发提供了技术支持。

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