一种用于微机械系统电容检测的模拟前端设计 - 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf

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2025-12-14 22:08 | 查看全部 阅读模式

论文《一种用于微机械系统电容检测的模拟前端设计》提出了一种适用于微机械系统的电容检测模拟前端电路。该设计通过高精度电容-电压转换和低噪声放大技术,提高了微机械传感器的检测灵敏度和信噪比。文章介绍了电路结构及工作原理,并通过实验验证了其在微小位移和压力检测中的有效性,为微机电系统提供了可靠的信号处理方案。

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一种用于微机械系统电容检测的模拟前端设计 - 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议
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