论文《硅电容微差压敏感器件的研制》介绍了基于硅微加工技术设计的一种高灵敏度微差压传感器。该器件利用电容变化原理，实现对微小压力差的精确检测。通过优化结构设计和工艺流程，提高了器件的线性度和稳定性。研究结果表明，该传感器具有良好的性能，适用于精密测量领域。
举报
