结合金属膜的YZ-LiNbO3压电基片上声表面波陀螺效应分析 - 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf

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2025-12-14 21:37 | 查看全部 阅读模式

本文针对结合金属膜的YZ-LiNbO3压电基片上的声表面波陀螺效应进行分析。通过理论建模与实验测试,研究了金属膜对声表面波传播特性的影响,探讨了其在角速度检测中的应用潜力。结果表明,金属膜的引入可有效增强陀螺效应,提高传感器的灵敏度与性能。该研究为高性能声表面波陀螺器件的设计提供了理论依据与技术参考。

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结合金属膜的YZ-LiNbO3压电基片上声表面波陀螺效应分析 - 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议
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