基于MEMS工艺的磁芯微电感的有限元模拟研究 - 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf

本文介绍了基于MEMS工艺的磁芯微电感的有限元模拟研究，旨在优化微电感性能。通过建立三维有限元模型，分析了磁芯材料、结构参数对电感值的影响。研究结果为微电感的设计与制造提供了理论依据，有助于提高器件的集成度和性能稳定性。

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2025-12-14 21:18 上传 基于MEMS工艺的磁芯微电感的有限元模拟研究 - 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf

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