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论文《面向集成电路装备的多学科协同设计平台》发表于2012年第二届全国现代制造集成技术学术会议。文章探讨了集成电路装备设计中多学科协同的重要性，提出了一种集成化设计平台，旨在提升设计效率与产品质量。该平台融合机械、电子、软件等多学科技术，实现信息共享与流程优化，为集成电路制造提供了有力的技术支持。 文档为pdf格式，0.85MB，总共14页。
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