本文介绍了硅烷注入方法的光谱分析及其在微晶硅太阳能电池中的应用。通过光谱技术对注入过程进行实时监测,优化了微晶硅薄膜的制备工艺。研究结果表明,该方法能有效提高电池的光电转换效率,为高效太阳能电池的开发提供了新思路。
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