硅薄膜高速沉积过程中的等离子体参数的瞬态变化 - 第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12).pdf

论文《硅薄膜高速沉积过程中的等离子体参数的瞬态变化》发表于第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12)，探讨了在高速沉积过程中等离子体参数的动态变化。研究通过实验分析，揭示了沉积速率与等离子体特性之间的关系，为优化薄膜制备工艺提供了理论依据。该成果对提高光伏器件性能具有重要意义。

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2025-12-14 19:32 上传 硅薄膜高速沉积过程中的等离子体参数的瞬态变化 - 第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12).pdf

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