该论文介绍了应变LDMOS器件的特性研究,旨在探讨应变技术对器件性能的影响。通过实验与模拟分析,研究了应变对载流子迁移率、导通电阻及击穿电压等关键参数的改善作用。结果表明,应变技术能够有效提升LDMOS器件的性能,为高性能功率器件的设计提供了理论依据和技术支持。
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