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含裂纹压电驱动的柔顺MEMS机构刚度特性分析 - 第五届全国振动利用工程学术会议暨第四次全国超声电机技术研讨会.pdf

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2025-12-14 16:16 | 查看全部阅读模式

本文研究了含裂纹压电驱动的柔顺MEMS机构的刚度特性，针对压电材料在微机电系统中的应用进行了深入分析。通过建立力学模型，探讨了裂纹对机构刚度的影响，为提高MEMS器件的可靠性和性能提供了理论依据。该研究在振动利用工程和超声电机技术领域具有重要意义。

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含裂纹压电驱动的柔顺MEMS机构刚度特性分析 - 第五届全国振动利用工程学术会议暨第四次全国超声电机技术研讨会

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刚度, 全国, 学术会议, 裂纹, 柔顺

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