低真空条件下石墨烯薄膜的制备工艺研究 - 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议.pdf

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2025-12-14 15:35 | 查看全部 阅读模式

本文介绍了在低真空条件下制备石墨烯薄膜的工艺研究,针对传统高真空方法的局限性,探索了更为经济高效的制备方式。通过优化工艺参数,如温度、时间及气体浓度,实现了高质量石墨烯薄膜的生长。研究结果表明,在低真空环境下也能获得性能良好的石墨烯材料,为大规模生产提供了新思路。

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低真空条件下石墨烯薄膜的制备工艺研究 - 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议
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