本文介绍了在不同功率条件下，氦气稀释对微晶硅锗薄膜特性的影响。通过实验分析了氦稀释对薄膜结构、光学性能及电学性质的影响，结果表明，适当稀释可改善薄膜质量，提高其光电性能。研究为优化微晶硅锗薄膜制备工艺提供了理论依据。
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