Investigation on the effect of abrasive on the 6H-SiC of lapping - 2012年中国(国际)光整加工技术及表面工程学术会议.pdf

论文《Investigation on the effect of abrasive on the 6H-SiC of lapping》探讨了磨料对6H-SiC材料研磨加工的影响。该研究通过实验分析不同磨料对材料表面质量、去除率及损伤层的影响，为提高6H-SiC的研磨效率和表面完整性提供了理论依据和技术支持。本文发表于2012年中国(国际)光整加工技术及表面工程学术会议，具有重要的工程应用价值。

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2025-12-14 14:45 上传 Investigation on the effect of abrasive on the 6H-SiC of lapping - 2012年中国(国际)光整加工技术及表面工程学术会议.pdf

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