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HVPE growth of GaN films on O-polarity ZnO substrates - 第十三届全国固体薄膜学术会议.pdf

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2025-12-14 14:43 | 查看全部阅读模式

论文《HVPE growth of GaN films on O-polarity ZnO substrates》介绍了在O极性ZnO衬底上采用氢化物气相外延（HVPE）技术生长GaN薄膜的研究。文章探讨了生长条件对GaN薄膜质量的影响，分析了晶体结构和表面形貌，并讨论了其在光电子器件中的应用潜力。

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HVPE growth of GaN films on O-polarity ZnO substrates - 第十三届全国固体薄膜学术会议

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