本文介绍了GaN基薄膜电池的制备方法、性能表征及分析。通过化学气相沉积等技术制备了高质量GaN薄膜，并对其电学和结构特性进行了系统研究。实验结果表明，GaN薄膜具有优良的导电性和稳定性，为新型半导体器件提供了良好基础。该研究对推动GaN在光电子和功率器件中的应用具有重要意义。
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