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论文《高质量钒掺杂半绝缘碳化硅晶体及其在光导开关上的应用》介绍了通过优化生长工艺制备出的高性能钒掺杂半绝缘碳化硅晶体。该材料具有优异的电学和光学特性，适用于光导开关等高频电子器件。研究结果表明，该晶体在光导开关应用中表现出良好的响应速度和稳定性，为半导体器件的发展提供了新的材料选择。 ","role":"assistant文档为pdf格式，0.52MB，总共2页。
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- 高质量钒掺杂半绝缘碳化硅晶体及其在光导开关上的应用 - 2011’全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术 ...
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