论文《退火对SiGe弛豫衬底热稳定性的影响》探讨了退火工艺对SiGe弛豫衬底热稳定性的影响。通过实验分析，研究发现退火温度和时间显著影响材料的结构和性能。结果表明，适当退火可改善SiGe衬底的热稳定性，为高性能半导体器件的制备提供理论依据和技术支持。
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