超声波电动机驱动的三维精密平台定位系统 - 第十六届中国小电机技术研讨会.pdf

论文《超声波电动机驱动的三维精密平台定位系统》介绍了基于超声波电动机的三维精密定位平台设计与实现。该系统利用超声波电动机的高精度和低速特性，结合机械结构优化，实现了微米级的定位精度。研究提出了控制策略和运动学模型，提升了系统的稳定性和响应速度，适用于精密制造和微操作领域。

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2025-12-14 09:28 上传 超声波电动机驱动的三维精密平台定位系统 - 第十六届中国小电机技术研讨会.pdf

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