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考虑边缘效应的磁微执行器静态Pull-in参数模型 - 2011’全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会.pdf

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2025-12-14 09:00 | 查看全部阅读模式

该论文针对磁微执行器的静态Pull-in参数进行了研究，重点考虑了边缘效应的影响。通过建立更精确的模型，提高了对磁微执行器性能预测的准确性。研究为微机电系统的设计与优化提供了理论支持，具有重要的工程应用价值。

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考虑边缘效应的磁微执行器静态Pull-in参数模型 - 2011’全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会

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