该论文研究了磁控溅射法制备的掺镓氧化锌薄膜的光电性能。通过调整掺杂浓度和工艺参数，分析了薄膜的电导率、透光率及光学带隙等特性。结果表明，适量掺镓可显著改善薄膜的导电性能，同时保持良好的透明性，为高性能透明导电薄膜的应用提供了理论依据和技术支持。
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