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论文《深亚微米PMOSFET的NBTI效应研究》探讨了在深亚微米技术节点下,PMOSFET器件中负偏置温度不稳定性(NBTI)效应的表现与机理。文章通过实验分析和理论模型,研究了NBTI对器件性能的影响,包括阈值电压漂移和跨导退化等现象。研究结果为提高器件可靠性提供了理论依据和技术支持,对集成电路设计与制造具有重要参考价值。 文档为pdf格式,0.16MB,总共4页。
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- 深亚微米PMOSFET的NBTI效应研究 - 第十七届全国半导体集成电路、硅材料学术会议.pdf ...
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