该论文介绍了通过MOCVD技术生长的高Al成分AlInGaN材料的结构和发光性质。研究分析了材料的晶体质量、成分分布及其光学特性,探讨了高Al含量对发光效率的影响。结果表明,优化生长条件可获得高质量的AlInGaN薄膜,为紫外LED和激光器的发展提供了重要参考。
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