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染色法测量N+N扩散结深的修正系数初探 - 第二十五届中国(天津)2011’IT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议.pdf

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论文《染色法测量N+N扩散结深的修正系数初探》探讨了利用染色法测量半导体器件中N+N扩散结深时的修正系数问题。通过实验分析，提出了影响测量精度的关键因素，并建立了相应的修正模型。该研究为提高扩散结深测量的准确性提供了理论依据和技术支持，对半导体制造工艺具有重要参考价值。

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染色法测量N+N扩散结深的修正系数初探 - 第二十五届中国(天津)2011’IT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议

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