对典型的硅基力敏传感器的特性评价 - 中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议.pdf

该论文介绍了对典型硅基力敏传感器的特性进行评价的研究。文章分析了传感器在不同力学条件下的性能表现，包括灵敏度、线性度和稳定性等关键指标。通过实验测试与数据分析，评估了硅基材料在力敏传感应用中的优势与局限性。研究为优化传感器设计和提升测量精度提供了理论依据和技术支持。

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2025-12-14 04:58 上传 对典型的硅基力敏传感器的特性评价 - 中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议.pdf

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