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多晶硅氢化炉流场均匀性数值模拟研究 - 第十二届全国高等学校过程装备与控制工程专业教学与科研校际交流会.pdf

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2025-12-14 04:30 | 查看全部阅读模式

论文《多晶硅氢化炉流场均匀性数值模拟研究》针对多晶硅生产中的关键设备氢化炉进行流场分析，通过数值模拟方法研究其内部气体流动特性。该研究旨在优化氢化炉结构设计，提高反应效率与产品纯度，对提升多晶硅生产工艺具有重要意义。

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多晶硅氢化炉流场均匀性数值模拟研究 - 第十二届全国高等学校过程装备与控制工程专业教学与科研校际交流会

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