论文《基于多孔硅牺牲层的线列氧化钒非制冷红外探测器制备》介绍了采用多孔硅作为牺牲层制备线列氧化钒非制冷红外探测器的方法。通过优化工艺流程,提高了探测器的性能和可靠性。该研究为高性能、低成本的非制冷红外探测器提供了新的技术路径,具有重要的应用价值。
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