基于双光子染料敏化产酸的化学增幅型正性光刻胶及其双光子微加工 - 2011第十二届中国辐射固化年会.pdf

论文《基于双光子染料敏化产酸的化学增幅型正性光刻胶及其双光子微加工》介绍了新型光刻胶的开发与应用。该光刻胶利用双光子染料敏化技术，实现高精度微加工。通过双光子吸收产生酸性物质，引发化学放大反应，提高分辨率和灵敏度。研究展示了其在微结构制造中的潜力，为先进光刻技术提供了新思路。

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2025-12-14 03:50 上传 基于双光子染料敏化产酸的化学增幅型正性光刻胶及其双光子微加工 - 2011第十二届中国辐射固化年会.pdf

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