该论文研究了升温速度对微波烧结ITO靶材性能的影响。通过控制不同的升温速率，分析其对靶材密度、显微结构及电学性能的影响。结果表明，适当的升温速度可以提高烧结效率，改善材料致密性，从而提升ITO靶材的性能。研究为优化微波烧结工艺提供了理论依据和技术支持。
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