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论文《利用计算流体力学方法对管式扩散炉中内部流场状况的初步研究》探讨了管式扩散炉内流场的分布情况，通过计算流体力学（CFD）方法进行模拟分析。研究旨在优化扩散炉内的气体流动，提高半导体材料的生长质量。文章详细描述了数值模型的建立与边界条件的设定，并对不同工况下的流场特性进行了比较。该研究为改进扩散工艺提供了理论依据和技术支持。 文档为pdf格式，0.34MB，总共3页。
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- 利用计算流体力学方法对管式扩散炉中内部流场状况的初步研究 - 中国可再生能源学会2011年学术年会.pdf ...
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