该论文介绍了新型700V耐压的横向超结LDMOS器件,旨在提高功率半导体器件的性能和效率。通过优化结构设计,实现了更高的击穿电压和更低的导通电阻,适用于高效电力电子应用。研究结果表明,该器件在性能和可靠性方面具有显著优势,对推动半导体器件技术发展具有重要意义。
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