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2011传感器与MEMS技术产业化国际研讨会中，关于“离子束辅助沉积（IBAD）生成微纳米薄膜的研究与应用”进行了深入探讨。该研究聚焦于利用离子束辅助沉积技术制备高质量微纳米薄膜，广泛应用于传感器和MEMS领域。通过精确控制沉积过程，IBAD技术能够提升薄膜的致密性和均匀性，从而改善器件性能。会议展示了该技术在微型化、集成化和高性能传感器中的实际应用案例，为相关领域的技术发展提供了重要参考。此次研讨会促进了学术界与产业界的交流，推动了微纳薄膜技术在传感器与MEMS中的进一步应用与发展。 文档为pdf格式，0.34MB，总共8页。
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- Research and Application of Micro-nano Thin Films Generated by Ion Beam Assisted Deposition (IBAD) - ...
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