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《MEMS谐振器的寄生电容噪声抑制》是2011年全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会上的一篇重要论文。该文针对MEMS谐振器在实际应用中因寄生电容产生的噪声问题展开研究，提出有效的噪声抑制方法。文章分析了寄生电容对谐振器性能的影响，并探讨了通过结构优化和材料改进来降低噪声的途径。研究成果对于提升MEMS谐振器的稳定性和精度具有重要意义，为相关领域的技术发展提供了理论支持和实践参考。 文档为pdf格式，0.08MB，总共1页。
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