|
《LTCC工艺线中定位标记的分析》是第十七届全国混合集成电路学术会议中的一篇重要论文。文章针对低温共烧陶瓷(LTCC)工艺线中的定位标记进行了系统分析,探讨了其在制造过程中的关键作用。通过实验与理论分析相结合的方法,研究者深入研究了定位标记的精度、稳定性及其对整体工艺流程的影响。该文为提升LTCC器件的制造精度和良品率提供了理论依据和技术支持,对于推动混合集成电路的发展具有重要意义。 文档为pdf格式,0.36MB,总共4页。
- 文件大小:
- 368.64 KB
- 下载次数:
- 60
- LTCC工艺线中定位标记的分析 - 第十七届全国混合集成电路学术会议.pdf
-
高速下载
|