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    新资汇»首页 › 标准 › 国家标准 › GBT 14142-2017 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法 ...

    [冶金] GBT 14142-2017 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法

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    2024-9-22 23:54 | 查看全部 阅读模式
    硅外延层晶体完整性检验方法腐蚀法
    Testmethodforcrystallographicperfectionofepitaxiallayersinsilicon-Etchingtechnique

    摘要:本标准规定了用化学腐蚀显示，并用金相显微镜检验硅外延层晶体完整性的方法。

    标准编号：GB/T14142-2017
    标准类型：GB
    发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
    发布日期：2017年1月1日
    强制性标准：否
    实施日期：2018年1月1日
    关键词：

    GB/T 14142-2017 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法.pdf
    2024-9-22 23:54 上传
    文件大小:
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    外延, 晶体, 腐蚀, 完整性
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