T_CSCP 0059.1—2025_微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第1部分：通用要.pdf

一、基本信息

文档名称：T_CSCP 0059.1—2025_微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第1部分：通用要

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二、简介

《T_CSCP 0059.1—2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第1部分：通用要求》是针对微机电系统材料腐蚀性能测试的行业标准。该标准规定了MEMS器件在腐蚀环境下的性能评估方法和基本要求，适用于各类基于MEMS技术的芯片与传感器产品。标准内容涵盖测试条件、评价指标及试验流程等关键要素，旨在提升MEMS产品的可靠性与使用寿命。该规范为相关企业提供了统一的技术依据，有助于推动MEMS产业的规范化发展。

三、预览

2025-9-6 14:03 上传 T_CSCP 0059.1—2025_微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第1部分：通用要.pdf

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