[冶金] GBT 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

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蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
Standardtestmethodforthicknessandthicknessvariationonsapphiresubstrates

摘要:本标准规定了制备氮化镓薄膜外延片及其他用途的蓝宝石单晶切割片、研磨片、抛光片(简称衬底片)厚度和厚度变化是否满足标准限度要求的测试方法。本标准适用于蓝宝石衬底片厚度及厚度变化的测试。

标准编号：GB/T30857-2014
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2014年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2015年1月1日
关键词：

GB/T 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法.pdf

2024-9-22 21:58 上传

GBT 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法.pdf

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厚度, 衬底, 蓝宝石, 变化, 测试

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