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[冶金] GBT 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法

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碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
Nondestructivetestmethodformicropipedensityofpolishedmonocrystallinesiliconcarbidewafers

摘要:本标准规定了4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片的微管密度的无损检测方法。本标准适用于4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片经单面抛光或双面抛光后、微管的径向尺寸在一微米至几十微米范围内的微管密度的测量。

标准编号：GB/T31351-2014
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2014年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2015年1月1日
关键词：

GB/T 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法.pdf

2024-9-22 21:57 上传

GBT 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法.pdf

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微管, 碳化硅, 无损, 抛光, 密度

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